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Suragus晶圓金屬層阻值\厚度量測機

本設備使用渦電流（Eddy Current）檢測技術，可對半導體製程之晶圓金屬層厚度（Thickness）、電阻值（片電阻Sheet resistance）、電阻率（Resistivity）進行量測，透過 ...

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