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蝕刻技術

蝕刻製程乃是將經過微. 影製程在表面定義出IC. 電路圖案的晶圓， 以. 化學腐蝕反應的方式，. 或物理撞擊的方式，或. 上述兩種方式的合成效. 果，去除部份材質，留.

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