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TCP 9400SE 多晶矽乾蝕刻機標準製程

Recipe 內容說明. 本機台蝕刻Poly-Si 採multi-step（Break Through, Main Etch, Over Etch）. BT: 10 秒可蝕刻350-400 Å . ME: 33-38 Å /s, Selectivity of Poly to ...

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