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半导体常用术语 - 知乎专栏

半导体 和泛半导体通常使用"FAB"这个词，它和其他电子制造的“工厂”同义。 ... 当然，出了暖机还有冷机，就是比如切换到某个Recipe 必须冷却一段时间才能Run货。

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