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各種PVDの比較 | 技術情報 | MISUMI-VONA【ミスミ】
これらの皮膜と皮膜形成時の特徴を比較すると、【表1】に示すとおりです。 ... PVD, 真空蒸着, イオンプレーティング, スパッタリング ... CVDの特徴と注意点.
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