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【2022年版】ALD装置5選 / メーカー10社一覧 - メトリー
ALDを用いて成膜を行う場合、CVDとPVDで成膜をする場合と比較して、アスペクト比(幅が狭く深さがあることを高アスペクト比が高いといいます)の高い構造物に対する成 ...
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