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【光刻百科】光學鄰近效應Optical Proximity Effect (OPE)

光學鄰近效應 (Optical Proximity Effect, OPE)是由於部分相干成像過程中的非線性空間濾波，像強度頻譜的能量分佈和位相分佈相對理想像頻譜有一定 ...

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