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Proximity effect correction - 鄰近效應修正 - 政府研究資訊系統

光罩製程中的電子束散射，與X-ray曝光近場繞射等現象作高精度模擬模型校準，及高效能數值最佳化方法作鄰近效應修正(proximity effect correction)，並於國家同步輻射 ...

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