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永光已開發出90奈米世代IC製程的光阻劑 - MoneyDJ理財網

原本看好的F(2)光阻材料發展，以矽氧類高分子（Siloxane polymer）及氟化高 ... 三種高分子材質，其目前共同的問題仍然是穿透度（吸收度）為主。

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