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APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制

演算模型是架構在先進製程控制系統(Advanced Process Control, APC)中。首先透過APC的前測 ... 最後此模型導入預先試行(Pilot Run)的機制。當機台在維修後，處於不穩定 ...

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