作者: 李世平 · Lee, Shih-Ping · 潘扶民 · Pan, Fu-Ming · 工學院半導體材料與製程設備學程 ; 關鍵字: 電漿化學氣相沉積;氮化矽;薄膜應力;穿透率;PECVD;silicon nitride; ...
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