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運用資料探勘於半導體機台維修管理之知識支援

(d) 機台OV19(前段烤箱19(OVEN 19))，機台故障原因為DB-1(輸送異. 58. Page 67. 常(InDB-ex Abnormal))的比例為65%。 (e) 機台DB14(晶粒黏粒機14(DIE BOND 14))，機台故障 ...

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