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Handbook of Photomask Manufacturing Technology

140 135 130 y = 1.0734x−5.08 R2 = 0.9447 125 120 ) CD -SEM (nm 115 110 105 100 95 90 90 100 130 140 110 120 OCD (nm) FIGURE 21.9 CD-SEM, OCD correlation ...

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