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EV Group步進重複奈米壓印微影系統突破生產微縮化 - CTIMES

步進重複NIL藉由電子束或其它技術完成單一晶片母模，並在基板上進行多次複製以打造全面積的主模板與母模，以符合成本效益的生產WLO與微流控元件使用的微 ...

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