儀器中文名稱: 奈米壓痕機械性質分析儀 ... (7)位移分辨率:≤0.006 nm. (8)熱漂移:≤0.05 nm/s. 2.奈米刮痕模式 ... (5)橫向位移分辨率:<0.02 nm.
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