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數值孔徑_百度百科 - Vnfp

PDF 檔案米；NA 代表成像系統的數值孔徑（Numerical Aperture）；k 1 為一係數，裡面包含了許多製程相關的因子。借由此數學方程式即可大約推算光學微影的解析度極限。

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