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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

為了製作小線寬，勢必要將曝光光源波長改為更短的波長，而NA值則是越大越好，但如此一來便會影響聚焦深度， ... 《表一光學微影解析度與曝光波長及數值孔徑之關係》 ...

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