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na值解析度
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(19) 中華民國智慧財產局(12)發明說明書公告本(11)證書號數
高NA值物鏡進行全反射(物鏡式之系統雷射光源是由物鏡邊緣導. 入,產生全反射並製造內全反射螢光激發的 ... 用NA值為0.65,可以增加其量測解析度。此結構的優點是穩定性.
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