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光學微影的新限制

間距解析度是由形塑影像的光源波長以及鏡片的數值孔徑(參考圖3)所決定。這個典型的線寬解析度是由Rayleigh公式所計算出來：. λ是微影影像工具的真空波長，NA 是 ...

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