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na值解析度
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現在是擴展EUV技術藍圖的時候了! - 電子工程專輯
然而,縮短波長不僅能縮減數值孔徑,從而有助於提高解析度,同時還降低工具成本以及功耗要求。 以k1係數約0.3的單次曝光為例,在13.5nm波長時,0.33 NA ...
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