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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中，像在薄膜沉積製程中的濺 ... 晶片上進行表面改質（如圖(四)所示），讓原本純矽的半導體因摻雜了砷形成N型半導體，或 ...

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