本篇論文主要是以磁控濺鍍方式成長鋁金屬薄膜,探討在不同濺鍍溫度下鋁金屬薄膜經乾式蝕刻前後之特性、及該鋁金屬應用在金氧半場效電晶體(Metal Oxide Semiconductor ...
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