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高性能鍺積體電路元件之閘極與通道工程

金氧半場效電晶體(MOSFET)是積體電路(IC)中最常見的半導體元件。MOSFET的通道和閘極堆疊之研究開發是實現高性能IC的關鍵技術。據文獻報導，SiGe超晶格(SL)通道可以 ...

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