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博士論文 小型アナログ IC に関するパッケージ起因応力の ...

パッケージ工程によってシリコンチップに発生する応力の測定方法としては， ... 化膜の容量，Vgs はソースを基準にしたゲート端子への印加電圧，Vth は MOSFET の閾値 ...

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