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纳米器件沟道超薄栅介质电容测试方法 - Google

此外，由于超小沟道电容的直接测试困难，通常需要特殊器件测试结构，例如在晶片上制作数百串并联的晶体管从而增大测试的等效电容然后通过计算得出实际要测量的MOS ...

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