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提高MOM电容密度的方法技术 - 专利查询

一种提高MOM电容密度的方法，包括：执行步骤S1：在衬底上沉积刻蚀阻挡层、低介 ... 电容，可变结电容以及后段互连中的MIM(metal-insulator-metal)电容 ...

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