為什麼這篇mim電容半導體製程鄉民發文收入到精華區：因為在mim電容半導體製程這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者Baneling (爆炸一哥)看板Electronics標題[問題] TSMC18um :MOM...
最近在設計SAR ADC遇到一些問題
有一些比較前瞻的設計是使用MOM(metal-on-metal)電容取代MIM電容
如此一來可以減輕前級電路的負載(pre-amplifier or buffer)
現在使用的製程是TSMC18um 1P6M的製程
畫MOM電容不是問題,但是目前找不太到萃取電容值的方法
希望對Layout有比較深入研究的版友可以給予一些意見
謝謝~
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◆ From: 61.60.254.39
推 Gocoba:同樣的loading cap為何MOM可以更好？ 10/30 02:35
→ Baneling:應該說MIM的最小容值是20fF MOM可以做到5fF以下 在不影響 10/30 05:31
→ Baneling:ADC的效能 cap array(SH&DAC)單位容值當然是越小越好 10/30 05:32
→ Baneling:前級電路推的負載相對就輕很多 10/30 05:33
推 jimbox:旁邊掛個電阻就好了 10/30 21:38
推 sovereignty:metal-oxide-metal 10/30 21:42
推 tensan:想請教一下 在什麼文件上有說最小電容只能到20fF 11/03 20:42
→ tensan:怕自己忘了查閱該文件 而畫錯 11/03 20:42