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CN103839917B - Mim电容及其形成方法 - Google Patents

... 层作为MIM电容的第二电极板。第一电极板顶端和第二电极板顶端之间的距离增大，MIM电容的漏电流减小。 ... [0026]与现有技术相比，本发明技术方案具有以下优点：.

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