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研究方向 - ALD/MLD技术与功能器件研究团队- 复旦大学

... 率高等优点，在平板显示、柔性电子、透明电子、功率器件等领域具有很好的应用前景。 ... 因此，基于金属电极和高介电常数介质的金属/绝缘体/金属（MIM）电容已成为 ...

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