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ALD製程用材料與產業未來需求探討 - IEK產業情報網

利用原子層沉積(Atomic Layer Deposition, ALD)技術成長的薄膜具有多項優點可適用 ... 圖四、(1) ZAZ-MIM電容結構；(2) DRAM結構示意圖; 圖五、High-k材料各應用之銷售 ...

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