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一种提高MIM电容高频可靠性的版图结构及其实现方法 - 掌桥科研

针对现有技术中寄生电容大以及没有高频噪声抑制能力的问题提出本方案。 ... 优点在于，降低了MIM电容对衬底的寄生电容，屏蔽衬底噪声；利用寄生电阻和寄生电容形成高频 ...

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