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基于深亚微米集成电路的MIM电容结构及性能改善研究

等离子体化学气相沉积二氧化硅氮化硅折射率MIM电容TDDB. ... 而MIM(Metal Insulator Metal)电容凭借其低寄生电容,低接触电阻的优点在0.11μm/0.18μm线宽工艺中广泛应用.

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