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VERSYS METAL 系列產品

此製程還能用來蝕穿金屬硬式罩幕(MHM)，這種硬式罩幕是用於形成傳統光阻罩幕無法處理的更細微結構，使特徵尺寸得以持續微縮。 為了實現這些關鍵的蝕刻步驟，Lam Research的 ...

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