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分子束磊晶 - NDCC

现行化合物半导体商用磊晶制程技术,大致可分成MOCVD(有机金属气相沉积法)和MBE(分子束磊晶技术),若以成长技术而论,MOCVD成长条件由气相方法进行,透过氢气( ...

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