流量單位. 0 : LPM (L/min 或mL/min ). 1 : CFM(ft3/min). 0007H. 讀. 流量小數點位數. 0: 無小數點. 1 : 小數點一位0.1. 2 : 小數點二位0.01. 3 : 小數點三位0.001.
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