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肇万研究札记：薄膜沉积设备 - 财富号

薄膜沉积工艺根据不同的应用演化出了PECVD、溅射PVD、ALD、LPCVD等不同的 ... 设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%；SACVD是新兴设备类型，占比较小。

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