表1.4 蒸鍍、分子束磊晶及濺鍍三種PVD 法之特性比較……………………17. 表1.5 二次電子與氣體分子之撞擊狀況……………………………………… 22. 表1.6 Thermal CVD 與PECVD 之物理特性 ...
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