試述乾式蝕刻和濕式蝕刻的比較? ... 掉,所以比較容易得到比較垂直的面,也較為精準,而整體來說溼蝕刻比乾蝕刻便宜。 ... 試述APCVD, LPCVD, 及PECVD的差異及優缺點?
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