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什么是薄膜沉积设备?国内市场规模及主要生产企业介绍
随着薄膜沉积工艺地发展,较为固定的工艺流程逐渐形成,与此同时,根据不同的应用也演变出了PECVD、溅射PVD、ALD、LPCVD等不同的设备,用于晶圆制造的 ...
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