低壓化學氣相沉積法(LPCVD)【前段】和電漿增強型化學氣相沉積法(PECVD)【後段】 ... 可精確控制劑量; 可在真空下操作,避免雜質等污染; 可控制植入深度; 比較低溫製程 ...
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