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半导体技术中的薄膜沉积-新闻动态 - 仪器谱

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition；CVD) 用高温炉管来进行二氧化硅层的成长， ... 电子枪式蒸镀机可蒸着熔点较高的金属，厚度也比较不受限制。

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