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a-面氧化鋅薄膜之熱氧化：光與電性的各向差異

圖4.24 PL 光譜圖比較偏振方向沿著m-軸與c-軸(a) 樣品A0 (b) 樣品A1 (c). 樣品A9 (d) 樣品A25 . ... 系統與電漿輔助化學氣相沈積(Plasma Enhanced CVD, PECVD) 系統。

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