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Microsoft PowerPoint - Chap8_化學氣相沉積

4 化學氣相沉積(CVD) CVD:Chemical Vapor Deposition 在反應器內, 利用化學反應將 ... 氣體分子間的碰撞頻率下降使得LPCVD 法的薄膜沉積速率比較慢分類爐管式單片式25.

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