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第一章緒論

CVD )，它不需經過化學反應與太高的溫度即能在基材表面形成鍍. 層，因此不會排放有毒物質，影響環保； ... 等)不同機械性質之比較；或. 是以奈米壓痕測試不同薄膜的各項 ...

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