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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

運用。1996 年以來，除了網路泡沫的2000 年，半導體產業有高達38％的成長高 ... 晶圓製程設備主要由控制平台，晶圓盒載具(Load port)、傳送室、晶圓反應.

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