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枚葉式蒸鍍鍍膜設備 - 富临科技工程股份有限公司
適合於半導體WAFER 光學製程產業, 搭配EFEM / LOAD PORT執行自動鍍膜無人工廠全自動生產方案; 可選配蒸鍍鍍膜製程與濺鍍製程結合,雙製程合併架構.
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