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充吹裝置,自動載入埠

舟)及自動載入埠(Load Port)作為重要之裝置, FOUP ... FOUP 內的晶圓通過搬出入口而供給至半導體製造裝置 ... 工之規定氣體氣氛,但從FOUP 內將晶圓送出至半導體製.

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