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上銀科技晶圓移載模組(EFEM)通過SEMI S2國際安規認證

SEMI S2是國際半導體設備及材料產業協會(SEMI)針對製程設備供應商所規範的 ... 此外，還可選配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊， ...

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