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20M002 多行程客製版 - 億尚

... 進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口 ...

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