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EFEM 整合系統 - 東捷科技股份有限公司

對應多種製程○ 對應多種產品Panel/Wafer/Compound/Glass/Metal ○ 使用非接觸式對齊精準補正對位 ○ 移載產品震動值≦ 0.3G. ○ 一般機身尺寸(2 Loadport)：(W)2,530 ...

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